Seiring dengan kemajuan proses semikonduktor global menuju titik-titik canggih 3nm/2nm, material titanium presisi (ASTM B265/B348, titanium-kemurnian tinggi dan paduan titanium Kelas 1/2/5) ditingkatkan dari "bahan tambahan" menjadi material strategis utama untuk manufaktur semikonduktor, dengan keunggulan inti seperti kemurnian ultra-tinggi, pengotor ultra-rendah, stabilitas termal yang kuat, ketahanan terhadap korosi, dan sifat non-magnetik. Perhatian pasar dan permintaan meningkat secara bersamaan.
Penggerak inti: Proses lanjutan memaksa peningkatan material
Proses semikonduktor tingkat lanjut (5nm ke bawah) memerlukan tiga persyaratan inti keras utama untuk material: presisi tingkat nanometer, kebersihan tingkat atom, dan stabilitas lingkungan ekstrem:
-Bahan target titanium dengan kemurnian tinggi (Kelas 1, kemurnian Lebih besar dari atau sama dengan 99,999%/5N): bahan inti sputtering PVD, digunakan untuk lapisan penghalang interkoneksi tembaga, steker kontak, untuk mencegah difusi atom tembaga mengkontaminasi wafer silikon, yang secara langsung menentukan hasil dan kinerja chip, cocok untuk keseluruhan proses 130-3nm.
-Komponen struktural presisi (Kelas 2/5): meja kerja mesin litografi, ruang mesin etsa, flensa vakum, lengan robot wafer, dll., dengan koefisien ekspansi termal rendah (8,6 × 10 ⁻⁶/ derajat ) dan deformasi fluktuasi suhu hanya 1/3 dari paduan aluminium, memastikan akurasi pemosisian tingkat nanometer.
-Komponen tahan korosi (Kelas 7): Tahan terhadap korosi asam kuat/halogen pada peralatan etsa basah dan pembersihan, tanpa polusi presipitasi logam, cocok untuk kondisi kerja ekstrem vakum tinggi dan plasma kuat.
Keunggulan inti bahan titanium standar Amerika
1. Kemurnian sangat tinggi+pengotor sangat-rendah: titanium dengan kemurnian tinggi-kelas 1 standar Amerika dengan pengotor oksigen/nitrogen/karbon yang dapat dikontrol<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Stabilitas termal+presisi dimensi: konduktivitas termal rendah (21,9W/(m · K)), koefisien ekspansi termal kecil, toleransi hingga ± 0,005mm, kehalusan permukaan Ra Kurang dari atau sama dengan 0,4 μm, cocok untuk perakitan skala nano dan penyegelan vakum.
3. Ketahanan korosi+non-magnetik+pelepasan gas rendah: penyembuhan diri lapisan oksida alami, tahan terhadap korosi Cl ₂/F ₂/asam kuat; Non magnetik dan tidak mengganggu sirkuit presisi; Laju pelepasan udara sangat rendah dalam kondisi vakum ultra-tinggi (UHV), sehingga memastikan kebersihan ruangan.
4. Ringan dan Kekuatan Tinggi: Kepadatan 4,51g/cm ³ (40% lebih ringan dari baja tahan karat), kekuatan tarik Kelas 5 Lebih besar dari atau sama dengan 930MPa, kekuatan spesifik dua kali lipat baja tahan karat, cocok untuk persyaratan ringan pada komponen bergerak berkecepatan tinggi.
Skenario aplikasi inti
-Bahan target titanium dengan kemurnian tinggi (Kelas 1): Deposisi sputtering PVD, digunakan untuk lapisan penghalang chip logika/penyimpanan dan lapisan perekat, dengan ukuran pasar global sebesar 1,87 miliar dolar AS pada tahun 2024 dan CAGR sebesar 9,3% dari tahun 2026 hingga 2030.
-Ruang vakum/flensa (Grade 2): Sistem vakum untuk peralatan etsa dan pengendapan, tahan terhadap tekanan tinggi, pelepasan gas rendah, dan penyegelan yang andal.
-Efektor lengan/ujung robot presisi (Kelas 5): transfer wafer, ringan dan berkekuatan-tinggi, posisi tepat, dan tidak ada pelepasan partikel.
-Lapisan/perlengkapan tahan korosi (Grade 7): Peralatan proses basah, tahan terhadap asam kuat seperti HF/HCl, memperpanjang masa pakai peralatan dan mengurangi biaya pemeliharaan.
Tren pasar: substitusi domestik+terobosan teknologi
Perluasan kapasitas semikonduktor global (khususnya di Daratan Tiongkok) telah mendorong pesatnya pertumbuhan permintaan akan material titanium presisi. Pada tahun 2023, ukuran pasar suku cadang presisi titanium Tiongkok untuk semikonduktor akan melebihi 3 miliar yuan, dengan tingkat pertumbuhan tahunan lebih dari 25%. Produksi massal yang stabil dari material titanium presisi Kelas 1/2/5 standar Amerika (termasuk foil titanium ultra-tipis 0,05 mm, material target dengan kemurnian-tinggi, dan komponen struktur presisi) telah tercapai, dengan toleransi dan kemurnian yang mencapai tingkat mahir internasional, membantu rantai industri semikonduktor agar dapat dikontrol secara independen.
Di bawah proses canggih dan substitusi penggerak roda ganda di dalam negeri, material titanium presisi yang memenuhi standar Amerika telah menjadi pendukung inti untuk peningkatan industri semikonduktor. Di masa depan, mereka akan terus melakukan terobosan menuju kemurnian yang lebih tinggi (6N), spesifikasi yang lebih tipis (Kurang dari atau sama dengan 0,05mm), dan pemesinan yang lebih presisi (± 0,002mm).
Permintaan Penawaran
E-mail:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
